一般常用兩種方法制備臭氧：紫外線輻射法和電暈放電法。紫外線發(fā)生器用于較小的水量，相對比較簡單和經(jīng)濟(jì)，但濃度較低，不超過0.1％；產(chǎn)量有限，一般僅為幾克/小時(shí)，效率也很低，僅適用于按摩池等小型游泳池。電暈放電法臭氧發(fā)生器的效率較高、臭氧濃度及產(chǎn)量也大，對于每小時(shí)循環(huán)流量在10噸以上的游泳池，應(yīng)采用此類臭氧發(fā)生器。
　　
　　1、紫外線臭氧發(fā)生器
　　
　　大多數(shù)安裝在居民區(qū)小型游泳池和浴池的臭氧發(fā)生器用紫外線燈產(chǎn)生臭氧。臭氧通過用波長低于200nm的紫外線照射普通空氣產(chǎn)生。當(dāng)足夠的紫外線能量加給氧分子，氧分子就分裂為兩個自由的單原子，這些單原子與其它氧分子碰撞產(chǎn)生臭氧分子。
　　
　　每個臭氧發(fā)生器的產(chǎn)率由以下幾個因素而定：紫外線的能量和波長，紫外線燈周圍的空間，溫度，濕度，以及空氣中的氧氣含量和通過發(fā)生器的空氣流的體積。如果一個給定系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)保持相對穩(wěn)定，影響臭氧濃度的主要因素是空氣流速。
　　
　　2、電暈放電法臭氧發(fā)生器
　　
　　干燥的氧氣或空氣通過放電間隙，在高能電磁場下，氧氣被電離成氧原子，氧原子與氧分子碰撞形成臭氧。其產(chǎn)率與氧的濃度、氣體干燥度、電源頻率、介電材料的厚度、介電常數(shù)等有直接聯(lián)系。
　　
　　臭氧的發(fā)生效率與氣體的干燥度成正比,與氣體中的氧濃度成正比(臭氧產(chǎn)率在氧濃度為92%時(shí)),與電源頻率成正比,與放電間隙成反比,與介電層厚度成反比.